激光誘導擊穿光譜技術(shù)（Laser Induced Breakdown Spectroscopy，簡稱LIBS技術(shù)），是利用激光誘導待測材料表面產(chǎn)生等離子體的發(fā)射光譜定量測量樣品元素組分、力學參數(shù)等的測量技術(shù)，它能實現(xiàn)在高溫、高壓、高輻照環(huán)境下對材料元素組分等進行在線定量分析。

山東東儀光電儀器有限公司于2020年自主研發(fā)設計了一套成熟的遠程LIBS遙測系統(tǒng)，該系統(tǒng)可實現(xiàn)：

?? 激光器控制

調(diào)節(jié)脈沖能量、脈沖頻率，設置預剝蝕、積分脈沖次數(shù)等。

?? 光譜儀控制

光譜儀與激光器的同步、采集時間、延遲時間、控制不同類型光譜儀等。

?? 云臺控制

控制云臺方向、俯仰角度，實現(xiàn)樣品的掃描分析。

?? 測距及調(diào)焦控制

通過激光測量待測樣品的距離，激光聚焦系統(tǒng)與等離子體信號收集系統(tǒng)的電動位移平臺自動調(diào)節(jié)，到達最佳的分析位置。

?? 數(shù)據(jù)處理

根據(jù)光譜儀分辨率，進行自動尋峰功能，提供譜線干擾信息；內(nèi)標線與分析線隨機組合，依據(jù)線性相關(guān)系數(shù)選擇最佳分析線對；推薦每一元素若干條特征分析譜線，根據(jù)推薦譜線進行定量分析；可以批量導入txt或excel文件，多張譜圖疊加，多塊CCD譜圖拼接功能。

利用該系統(tǒng)對某中低合金鋼套標樣品進行線性擬合及精密度實驗，得到數(shù)據(jù)如下圖所示。

研發(fā)部